Sorokin I.A., Kolodko D.V. Planar hollow cathode sputtering with asymmetrical voltage supply. Vacuum , 2023 , 207. р. 111570. ISSN 0042207X
Полный текст не доступен из этого репозитория.
Официальный URL: https://doi.org/10.1016/j.vacuum.2022.111570
| Тип объекта: | Статья |
|---|---|
| Авторы на русском. ОБЯЗАТЕЛЬНО ДЛЯ АНГЛОЯЗЫЧНЫХ ПУБЛИКАЦИЙ!: | Сорокин, Колодко |
| Подразделения (можно выбрать несколько, удерживая Ctrl): | 216 лаб. технологических процессов твердотельной электроники |
| URI: | http://cplire.ru:8080/id/eprint/8854 |
 |
Изменить объект |
