Two-stage sintering of yttrium iron garnet ceramics for magnetron sputtering

Luzanov V. A., Balashov V V, Lopukhin K V Two-stage sintering of yttrium iron garnet ceramics for magnetron sputtering. Journal of Communications Technology and Electronics , 2022 , 67 (6). С. 690-691. ISSN 1064-2269

Полный текст не доступен из этого репозитория.

Аннотация

A two-stage process of sintering yttrium iron garnet ceramics for magnetron sputtering has been proposed and tested. It has been shown that uniaxial pressing of compacts results in the synthesis of nanosized crystallites of yttrium iron garnet. The crystal structure of the obtained ceramic samples has been studied. Epitaxial films are grown on yttrium aluminum garnet substrates by magnetron sputtering of the obtained target.

Тип объекта:	Статья
Авторы на русском. ОБЯЗАТЕЛЬНО ДЛЯ АНГЛОЯЗЫЧНЫХ ПУБЛИКАЦИЙ!:	В. А. Лузанов, В. В. Балашов, К. В. Лопухин
Подразделения (можно выбрать несколько, удерживая Ctrl):	215 лаб. проблем субмикронной технологии 216 лаб. технологических процессов твердотельной электроники
URI:	http://cplire.ru:8080/id/eprint/8824

Только для зарегистрированных пользователей

Изменить объект