Двухстадийное спекание керамики железоиттриевого граната для магнетронного распыления

Лузанов В.А., Балашов В.В., Лопухин К.В. Двухстадийное спекание керамики железоиттриевого граната для магнетронного распыления. РАДИОТЕХНИКА И ЭЛЕКТРОНИКА , 2022 , 67 (6). р. 1. ISSN 0033-8494

Полный текст не доступен из этого репозитория.

Аннотация

Предложен и опробован двухстадийный процесс спекания керамики железоиттриевого граната для магнетронного распыления. Показано, что при использовании одноосного прессования компактов происходит синтез наноразмерных кристаллитов железоиттриевого граната. Исследована кристаллическая структура полученных образцов керамики. Методом магнетронного распыления полученной мишени выращены эпитаксиальные пленки на подложках из алюмоиттриевого граната.

Тип объекта:	Статья
Подразделения (можно выбрать несколько, удерживая Ctrl):	215 лаб. проблем субмикронной технологии 216 лаб. технологических процессов твердотельной электроники
URI:	http://cplire.ru:8080/id/eprint/8823

Только для зарегистрированных пользователей

Изменить объект