Investigation of high-precision laser instrument for fabrication of integrated circuits and monitoring of seismic and gravitational processes

Minin Iu.B., Aleksandrov D.V., Dubrov M.N., Fedorov M.V. Investigation of high-precision laser instrument for fabrication of integrated circuits and monitoring of seismic and gravitational processes. Проблемы разработки перспективных микро- и наноэлектронных систем (МЭС) , 2021 (4). С. 182-186. ISSN 2078-7707

Предварительный просмотр

Текст МЭС_2021_N4_С182-186.pdf Загрузить (588kB) | Предварительный просмотр

Аннотация

A new method of interferometric strain measurements was proposed. The method possesses high interferometric precision, does not require moving external mirror through measuring base and is characterized by use of improved signal post-processing with utilizing linearization and digital processing techniques. The proposed method is investigated for achieving accuracy of decades of nanometers in a wide dynamic range up to 200 dB with a sensitivity of strain detection of the order of 10(-12).

Тип объекта:	Статья
Авторы на русском. ОБЯЗАТЕЛЬНО ДЛЯ АНГЛОЯЗЫЧНЫХ ПУБЛИКАЦИЙ!:	Минин Ю.Б., Александров Д.В., Дубров М.Н., Федоров М.В.
Подразделения (можно выбрать несколько, удерживая Ctrl):	119 лаб. распространения радиоволн и дистанционного зондирования атмосферы 139 лаб. оптических волноводных систем
URI:	http://cplire.ru:8080/id/eprint/8508

Только для зарегистрированных пользователей

Изменить объект