Влияние толщины диэлектрической подложки на поглощающие и просветляющие свойства ультратонких пленок меди

Андреев В.Г., Вдовин В.А., Глазунов П.С., Пятайкин И.И., Пинаев Ю.В. Влияние толщины диэлектрической подложки на поглощающие и просветляющие свойства ультратонких пленок меди. Оптика и спектроскопия , 2022 , 130 (9). С. 1410-1416. ISSN 0030-4034

Текст Opt_Spectr_v130_2022_pp1410_1416.pdf - Опубликованная версия Restricted to Только для зарегистрированных пользователей Загрузить (187kB) | Заказать копию

Аннотация

Изучена зависимость оптических коэффициентов ультратонких пленок меди толщиной 2-30 nm от толщины подложек. Пленки изготавливались на кварцевых подложках толщиной 4 mm, а толщина подложек (6 и 8 mm) варьировалась путем плотного прижатия чистых подложек с толщинами 2 и 4 mm к 4-mm подложке с пленкой. Измерения проведены в волноводе в диапазоне частот 8.5-12.5 GHz на моде TE_10 для двух ориентаций пленки по отношению к направлению падающей волны. Зависимости оптических коэффициентов, измеренные при падении волны со стороны пленки и со стороны подложки, существенно отличаются. Показано, что эффект аномально высокого поглощения волн (более 77%) пленками меди толщиной не более 10 nm наблюдается в широкой полосе частот. Максимальное поглощение (77.5%) зарегистрировано на частоте 8.5 GHz при падении волны на пленку толщиной 8.6 nm со стороны 6-mm подложки. Впервые зарегистрирован эффект экстремально малого отражения (0.06%) при падении волны частоты 11.54 GHz на пленку толщиной 7.9 nm со стороны 4-mm подложки. Показано, что частотный диапазон, где наблюдался эффект минимального отражения, превышает полосу просветления диэлектрической пластины с полуволновым резонансом. Ключевые слова: ультратонкие пленки меди, кварцевая подложка, оптические коэффициенты, волноводные измерения, СВЧ диапазон

Тип объекта:	Статья
Авторы на русском. ОБЯЗАТЕЛЬНО ДЛЯ АНГЛОЯЗЫЧНЫХ ПУБЛИКАЦИЙ!:	Андреев, Вдовин, Глазунов, Пятайкин, Пинаев
Подразделения (можно выбрать несколько, удерживая Ctrl):	201 лаб. математических методов радиофизики
URI:	http://cplire.ru:8080/id/eprint/8244

Только для зарегистрированных пользователей

Изменить объект