Измерение температуры с помощью кремниевых микроинтерферометров Фабри–Перо методом спектральной низкокогерентной интерферометрии

Потапов В. Т., Жамалетдинов Н. М. Измерение температуры с помощью кремниевых микроинтерферометров Фабри–Перо методом спектральной низкокогерентной интерферометрии. Приборы и техника эксперимента , 2022 (3). С. 77-80. ISSN 0032-8162

Полный текст не доступен из этого репозитория.

Аннотация

Описан волоконно-оптический датчик температуры с чувствительным элементом на основе кремниевой плоскопараллельной пластины толщиной 36 мкм, представляющей собой интерферометр Фабри–Перо, база которого изменяется вследствие изменения коэффициента преломления кремния с температурой и измеряется методом волоконно-оптической низкокогерентной интерферометрии. Полученная экспериментально чувствительность составила ~1.5 K в диапазоне температур 77–300 K.

Тип объекта: Статья
Подразделения (можно выбрать несколько, удерживая Ctrl): 278 лаб. радиофизических измерений
URI: http://cplire.ru:8080/id/eprint/8199
Только для зарегистрированных пользователей
Изменить объект Изменить объект