Шустин Е.Г. ПУЧКОВО-ПЛАЗМЕННЫЙ РАЗРЯД В КОСМОСЕ И В ЛАБОРАТОРИИ. Физика плазмы , 2021 , 47 (6). С. 118-130. ISSN 0367-2921
Полный текст не доступен из этого репозитория.
Официальный URL: https://sciencejournals.ru/journal/fizplaz/
Аннотация
разряда (ППР). Представлен краткий обзор теории ППР. Описаны основные свойства ППР в ак- тивных геофизических экспериментах с инжекцией электронных пучков в ионосферу Земли. Ис- следования физики ППР привели к обнаружению эффектов, которые успешно применяются в плазменных технологиях для обработки материалов и структур наноэлектроники.
| Тип объекта: | Статья |
|---|---|
| Подразделения (можно выбрать несколько, удерживая Ctrl): | 216 лаб. технологических процессов твердотельной электроники |
| URI: | http://cplire.ru:8080/id/eprint/8024 |
 |
Изменить объект |
