Влияние давления аргона на текстуру и микроструктуру пленок кобальта, осаждаемых магнетронным распылением

Джумалиев А.С., Никулин Ю.В. Влияние давления аргона на текстуру и микроструктуру пленок кобальта, осаждаемых магнетронным распылением. Известия Саратовского университета. Новая серия. Серия: Физика. , 2017 , 17 (4). С. 254-262. ISSN 1817-3020

Полный текст не доступен из этого репозитория.
Официальный URL: https://fizika.sgu.ru/ru
Тип объекта: Статья
Подразделения (можно выбрать несколько, удерживая Ctrl): СФ-4 лаб. магнитоэлектроники СВЧ
URI: http://cplire.ru:8080/id/eprint/7136
Только для зарегистрированных пользователей
Изменить объект Изменить объект