МАТРИЧНЫЕ АВТОЭМИССИОННЫЕ СТРУКТУРЫ НА ОСНОВЕ УГЛЕРОДНЫХ НАНОТРУБОК ДЛЯ ПЛОСКИХ ДИСПЛЕЕВ

Тарасов Е.А., Торгашов Г.В., Григорьев Ю.А., Синицын Н.И., Абаньшин Н.И., Горфинкель Б.И. МАТРИЧНЫЕ АВТОЭМИССИОННЫЕ СТРУКТУРЫ НА ОСНОВЕ УГЛЕРОДНЫХ НАНОТРУБОК ДЛЯ ПЛОСКИХ ДИСПЛЕЕВ. Нелинейный мир , 2013 , 11 (2). С. 84-85. ISSN ISSN 2070-0970

Полный текст не доступен из этого репозитория. (Заказать копию)
Официальный URL: https://elibrary.ru/item.asp?id=18812111

Аннотация

Осуществлены процессы синтеза углеродных нанотрубок (УНТ) методом TCVD в отверстиях катодных матриц. Показано, что для создания матричной структуры из отверстий использована технология оптической фотолитографии с последующим химическим травлением тройной структуры Si/SiO 2/Mo.

Тип объекта: Статья
Подразделения (можно выбрать несколько, удерживая Ctrl): СФ-1 лаб. микро- и наноэлектроники
URI: http://cplire.ru:8080/id/eprint/6991
Только для зарегистрированных пользователей
Изменить объект Изменить объект