Тарасов Е.А., Торгашов Г.В., Григорьев Ю.А., Синицын Н.И., Абаньшин Н.И., Горфинкель Б.И. МАТРИЧНЫЕ АВТОЭМИССИОННЫЕ СТРУКТУРЫ НА ОСНОВЕ УГЛЕРОДНЫХ НАНОТРУБОК ДЛЯ ПЛОСКИХ ДИСПЛЕЕВ. Нелинейный мир , 2013 , 11 (2). С. 84-85. ISSN ISSN 2070-0970
Полный текст не доступен из этого репозитория. (Заказать копию)
Официальный URL: https://elibrary.ru/item.asp?id=18812111
Аннотация
Осуществлены процессы синтеза углеродных нанотрубок (УНТ) методом TCVD в отверстиях катодных матриц. Показано, что для создания матричной структуры из отверстий использована технология оптической фотолитографии с последующим химическим травлением тройной структуры Si/SiO 2/Mo.
| Тип объекта: | Статья |
|---|---|
| Подразделения (можно выбрать несколько, удерживая Ctrl): | СФ-1 лаб. микро- и наноэлектроники |
| URI: | http://cplire.ru:8080/id/eprint/6991 |
 |
Изменить объект |
