НОВЫЙ АВТОЭМИССИОННЫЙ МАТЕРИАЛ – ТОНКИЕ УГЛЕРОДНЫЕ НАНОКЛАСТЕРНЫЕ ПЛЕНКИ. ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ АСПЕКТЫ

Синицын Н.И., Торгашов Г.В., Торгашов И.Г., Байбурин В.Б., Буянова З.И., Жбанов А.И. НОВЫЙ АВТОЭМИССИОННЫЙ МАТЕРИАЛ – ТОНКИЕ УГЛЕРОДНЫЕ НАНОКЛАСТЕРНЫЕ ПЛЕНКИ. ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ АСПЕКТЫ. Гетеромагнитная микроэлектроника , 2013 (14). С. 13-24. ISSN 1810-9594

Полный текст не доступен из этого репозитория. (Заказать копию)
Официальный URL: https://elibrary.ru/item.asp?id=241476021

Аннотация

В работе рассматривается новый автоэмиссионный материал – тонкие углеродные нанокластерные пленки. Разработана технология выращивания таких пленок. Исследован их состав, подробно изучено влияние основных параметров технологического процесса синтеза на их автоэмиссионные свойства и структуру поверхности, сделаны рекомендации по выбору материала подложки для изготовления автокатодов на основе углеродных нанокластерных пленок.

Тип объекта: Статья
Подразделения (можно выбрать несколько, удерживая Ctrl): СФ-1 лаб. микро- и наноэлектроники
URI: http://cplire.ru:8080/id/eprint/6979
Только для зарегистрированных пользователей
Изменить объект Изменить объект