Гончаренко Борис Г., Жуков Андрей А., Зорин Сергей М., Козлов А.С., Корпухин А.С., . Салов Владимир Д. Моделирование конструкции и способ изготовления 3D MEMS – структур тепловых приёмников инфракрасного излучения. .НАНО И МИКРОСИСТЕМНАЯ ТЕХНИКА , 2015 (8).
Полный текст не доступен из этого репозитория.| Тип объекта: | Статья |
|---|---|
| Подразделения (можно выбрать несколько, удерживая Ctrl): | 215 лаб. проблем субмикронной технологии |
| URI: | http://cplire.ru:8080/id/eprint/6948 |
 |
Изменить объект |
