Применение метода PCVD для осаждения слоев кварцевого стекла, легированного фтором, на кремниевые подложки в резонансном СВЧ-разряде пониженного давления на волне Н10.

Зубков Н. П., Шилов И. П., И. П., Кочмарев Л.Ю. Применение метода PCVD для осаждения слоев кварцевого стекла, легированного фтором, на кремниевые подложки в резонансном СВЧ-разряде пониженного давления на волне Н10. ЭЛЕКТРОННАЯ ТЕХНИКА. СЕРИЯ 1: СВЧ-ТЕХНИКА , 2018 . ISSN 1990-9012

Полный текст не доступен из этого репозитория.
Официальный URL: http://www.istokmw.ru/elektronnay a-tehnika
Тип объекта: Статья
Подразделения (можно выбрать несколько, удерживая Ctrl): 276 лаб. элементов систем лазерной связи
URI: http://cplire.ru:8080/id/eprint/6740
Только для зарегистрированных пользователей
Изменить объект Изменить объект
Репозиторий "Каталог публикаций ИРЭ им. В.А.Котельникова РАН" создан на платформе EPrints 3 которая разработана Школой электроники и компьютерных наук в Университете Саутгемптона. Более подробная информация и разработчики программного обеспечения.