Зубков Н.П., Кочмарев Л.Ю., Шилов И.П. Применение метода PCVD для осаждения слоев кварцевого стекла, легированного фтором, на кремниевые подложки в резонансном СВЧ-разряде пониженного давления на волне Н10. Журнал электронная техника, сер. 1, СВЧ-техника , 2018 , 3 (538). С. 64-74.
Полный текст не доступен из этого репозитория.| Тип объекта: | Статья |
|---|---|
| Подразделения (можно выбрать несколько, удерживая Ctrl): | 276 лаб. элементов систем лазерной связи |
| URI: | http://cplire.ru:8080/id/eprint/6444 |
 |
Изменить объект |
