Многослойное осаждение кварцевого и фторсиликатного стекла на кремниевые пластины в плазме резонансного локального СВЧ разряда пониженного давления

Блинов Л.М., Герасименко А.П., Гуляев Ю.В., Долгов А.П., Кочмарев Л.Ю., Черепенин В.А., Шилов И.П. Многослойное осаждение кварцевого и фторсиликатного стекла на кремниевые пластины в плазме резонансного локального СВЧ разряда пониженного давления. ЖУРНАЛ РАДИОЭЛЕКТРОНИКИ (электронный журнал) , 2018 . ISSN 1684-1719

Полный текст не доступен из этого репозитория.

Тип объекта:	Статья
Подразделения (можно выбрать несколько, удерживая Ctrl):	276 лаб. элементов систем лазерной связи
URI:	http://cplire.ru:8080/id/eprint/6436

Только для зарегистрированных пользователей

Изменить объект