Формирование оптических структур, легированных фтором, на кремниевых пластинах в локальном СВЧ-разряде на волне Н при пониженном давлении

Зубков Н. П., Кочмарев Л. Ю., Шилов И. П. Формирование оптических структур, легированных фтором, на кремниевых пластинах в локальном СВЧ-разряде на волне Н при пониженном давлении. In: Научно-техническая конференции АО «НПП Исток им. Шокина» СВЧ-электроника-2018, 75 лет развития». , С. 88-89.

Полный текст не доступен из этого репозитория.

Тип объекта:	Доклад на конференции или семинаре (Доклад)
Подразделения (можно выбрать несколько, удерживая Ctrl):	276 лаб. элементов систем лазерной связи
URI:	http://cplire.ru:8080/id/eprint/6333

Только для зарегистрированных пользователей

Изменить объект