Гольдман Е.И., Набиев А.Э., Нарышкина В.Г., Чучева Г.В. О природе повышения подвижности электронов в канале инверсии у границы раздела кремний-окисел после полевого воздействия. Физика и техника полупроводников , 2019 , 53 (1). С. 89-92. ISSN 0015-3222
|
Текст
Гольдман-О природе повышения.pdf Загрузить (117kB) | Предварительный просмотр |
Аннотация
В диапазоне значений индукции поперечного магнитного поля 0−5 Тл при температурах от 100 до 200K проведены измерения характеристик проводимости канала инверсии Si-транзисторных структур после ионной поляризации и деполяризации образцов. После ионной поляризации при температуре 420K под действием сильного электрического поля в окисле перетекало не менее 6 · 10^13 см^−2 ионов. Обнаруженное ранее повышение проводимости в цепи исток-сток после поляризации изолирующих слоев до 10 раз объяснено образованием нового пути электропереноса по поверхностной примесной зоне, связанной с делокализованными D−-состояниями, которые генерируются нейтрализованными ионами, расположенными в изолирующем слое у границы раздела с полупроводником.
| Тип объекта: | Статья |
|---|---|
| Подразделения (можно выбрать несколько, удерживая Ctrl): | 251 лаб. исследования физических явлений на поверхности и границах раздела твердых тел |
| URI: | http://cplire.ru:8080/id/eprint/5788 |
 |
Изменить объект |
