Marenkov Е.D., Gutorov K.M., Sorokin I.A. Radiation of high-Z atoms sputtered by plasma. Nuclear Inst. and Methods in Physics Research B 436 , 2018 . С. 257-262.
Полный текст не доступен из этого репозитория.
Официальный URL: https://doi.org/10.1016/j.nimb.2018.10.005
| Тип объекта: | Статья |
|---|---|
| Авторы на русском. ОБЯЗАТЕЛЬНО ДЛЯ АНГЛОЯЗЫЧНЫХ ПУБЛИКАЦИЙ!: | Маренков Е.Д., Гуторов К.М.,Сорокин И.А. |
| Подразделения (можно выбрать несколько, удерживая Ctrl): | 216 лаб. технологических процессов твердотельной электроники |
| URI: | http://cplire.ru:8080/id/eprint/5750 |
 |
Изменить объект |
