Luzanov V.A., Alekseev S.G., Polzikova N.I. Deposition Process Optimization of Zinc Oxide Films with Inclined Texture Axis. Journal of Communications Technology and Electronics 2018 , 2018 , 63 (9). С. 1076-1079.
Полный текст не доступен из этого репозитория.
Официальный URL: https://doi.org/10.1134/S1064226918090127
| Тип объекта: | Статья |
|---|---|
| Авторы на русском. ОБЯЗАТЕЛЬНО ДЛЯ АНГЛОЯЗЫЧНЫХ ПУБЛИКАЦИЙ!: | Лузанов В.А., Алексеев С.Г., Ползикова Н.И. |
| Подразделения (можно выбрать несколько, удерживая Ctrl): | 171 лаб. полупроводниковых приборов 216 лаб. технологических процессов твердотельной электроники |
| URI: | http://cplire.ru:8080/id/eprint/5738 |
 |
Изменить объект |
