Веденеев А.С., Лузанов В.А. Составная мишень для получения нанокомпозитов при магнетронном распылении. 183138, 2018.
Полный текст не доступен из этого репозитория.
Официальный URL: http://fireras.su/216/images/Патент.docx
| Тип объекта: | Патент |
|---|---|
| Подразделения (можно выбрать несколько, удерживая Ctrl): | 216 лаб. технологических процессов твердотельной электроники 285 лаб. волновой электроники |
| URI: | http://cplire.ru:8080/id/eprint/5737 |
 |
Изменить объект |
