Angular and velocity distributions of tungsten sputtered by low energy argon ions.

Marenkov E., Nordlund K., Sorokin I., Eksaeva A., Gutorov K., Jussila J., Granberg F., Borodin D. Angular and velocity distributions of tungsten sputtered by low energy argon ions. Journal of Nuclear Materials , 2017 , 496. С. 18-23.

Полный текст не доступен из этого репозитория.
Официальный URL: https://www.sciencedirect.com/science/article/pii/...
Тип объекта: Статья
Авторы на русском. ОБЯЗАТЕЛЬНО ДЛЯ АНГЛОЯЗЫЧНЫХ ПУБЛИКАЦИЙ!: Сорокин И.
Подразделения (можно выбрать несколько, удерживая Ctrl): 216 лаб. технологических процессов твердотельной электроники
URI: http://cplire.ru:8080/id/eprint/5701
Только для зарегистрированных пользователей
Изменить объект Изменить объект