Mass spectroscopy of the ion flux produced during inductively coupled plasma nitriding process.

Kolodko D.V., Kaziev A.V., Ageychenkov D.G., Meshcheryakova E.A., Pisarev A.A., Tumarkin A.V. Mass spectroscopy of the ion flux produced during inductively coupled plasma nitriding process. Journal of Physics: Conference Series , 2017 , 830 (1). ISSN 1742-6596

Полный текст не доступен из этого репозитория.
Официальный URL: http://iopscience.iop.org/article/10.1088/1742-659...
Тип объекта: Статья
Авторы на русском. ОБЯЗАТЕЛЬНО ДЛЯ АНГЛОЯЗЫЧНЫХ ПУБЛИКАЦИЙ!: Колодко Д.В.
Подразделения (можно выбрать несколько, удерживая Ctrl): 216 лаб. технологических процессов твердотельной электроники
URI: http://cplire.ru:8080/id/eprint/5699
Только для зарегистрированных пользователей
Изменить объект Изменить объект