Kolodko D.V., Kaziev A.V., Ageychenkov D.G., Meshcheryakova E.A., Pisarev A.A., Tumarkin A.V. Mass spectroscopy of the ion flux produced during inductively coupled plasma nitriding process. Journal of Physics: Conference Series , 2017 , 830 (1). ISSN 1742-6596
Полный текст не доступен из этого репозитория.
Официальный URL: http://iopscience.iop.org/article/10.1088/1742-659...
| Тип объекта: | Статья |
|---|---|
| Авторы на русском. ОБЯЗАТЕЛЬНО ДЛЯ АНГЛОЯЗЫЧНЫХ ПУБЛИКАЦИЙ!: | Колодко Д.В. |
| Подразделения (можно выбрать несколько, удерживая Ctrl): | 216 лаб. технологических процессов твердотельной электроники |
| URI: | http://cplire.ru:8080/id/eprint/5699 |
 |
Изменить объект |
