Микропрофиль структуры вакуумной интегральной СВЧ-схемы и способ его получения

СГТУ им. Гагарина Ю.А. Микропрофиль структуры вакуумной интегральной СВЧ-схемы и способ его получения. 2476951 С1 МПК H01J 19/64, 2013.

Полный текст не доступен из этого репозитория.

Тип объекта:	Патент
Подразделения (можно выбрать несколько, удерживая Ctrl):	СФ-3 лаб. субмикронной электроники
URI:	http://cplire.ru:8080/id/eprint/5682

Только для зарегистрированных пользователей

Изменить объект