Возможности толстых плёнок микроэлектроники в создании элементной базы радиоэлектронных систем

Подвигалкин В.Я. Возможности толстых плёнок микроэлектроники в создании элементной базы радиоэлектронных систем. Микроэлектроника , 2013 , 42 (5). С. 348-360.

Полный текст не доступен из этого репозитория.
Тип объекта: Статья
Подразделения (можно выбрать несколько, удерживая Ctrl): СФ-3 лаб. субмикронной электроники
URI: http://cplire.ru:8080/id/eprint/5658
Только для зарегистрированных пользователей
Изменить объект Изменить объект