Подвигалкин В.Я. Возможности толстых плёнок микроэлектроники в создании элементной базы радиоэлектронных систем. Микроэлектроника , 2013 , 42 (5). С. 348-360.
Полный текст не доступен из этого репозитория.| Тип объекта: | Статья |
|---|---|
| Подразделения (можно выбрать несколько, удерживая Ctrl): | СФ-3 лаб. субмикронной электроники |
| URI: | http://cplire.ru:8080/id/eprint/5658 |
![]() |
Изменить объект |
