Features of the field damage of ultra-thin insulating layers of the silicon oxide

Chucheva G.V., Goldman E.I., Gulyaev Yu.V. Features of the field damage of ultra-thin insulating layers of the silicon oxide. In: Международная конференция "Микро- и наноэлектроника - 2018" (ICMNE-2018) с расширенной сессией "Квантовая информатика", 1-5 октября 2018г., г. Звенигород, Россия , МАКС Пресс , р. 158.

[img] Текст
Abstract Submission-2 (Chucheva G.).doc

Загрузить (102kB)
Официальный URL: http://www.icmne.ftian.ru/index_r.shtml
Тип объекта: Доклад на конференции или семинаре (Доклад)
Авторы на русском. ОБЯЗАТЕЛЬНО ДЛЯ АНГЛОЯЗЫЧНЫХ ПУБЛИКАЦИЙ!: Чучева Г.В., Гольдман Е.И., Гуляев Ю.В.
Подразделения (можно выбрать несколько, удерживая Ctrl): 251 лаб. исследования физических явлений на поверхности и границах раздела твердых тел
URI: http://cplire.ru:8080/id/eprint/5139
Только для зарегистрированных пользователей
Изменить объект Изменить объект