Влияние материала подложки на структуру и электрофизические свойства тонких пленок BaxSr1-xTiO3

Афанасьев М.С., Киселев Д.А., Левашов С.А., Лузанов В.А., Набиев А.Э., Нарышкина В.Г., Сивов А.А., Чучева Г.В. Влияние материала подложки на структуру и электрофизические свойства тонких пленок BaxSr1-xTiO3. Физика твёрдого тела , 2018 , 60 (5). С. 951-954. ISSN 0367-3294

[img]
Предварительный просмотр
Текст
Киселев-Влияние материала подложки.pdf

Загрузить (671kB) | Предварительный просмотр

Аннотация

Методом высокочастотного распыления получены тонкие пленки BaxSr1−xTiO3 на (111)Pt/(100)Si и SiOx /(100)Si подложках. Установлено, что синтезированные пленки однофазны, обладают поликристаллической структурой. Показано, что подслой платины оказывает влияние на значения шероховатости, средний размер зерен и величину локальной поляризации в тонких пленках BaxSr1−xTiO3. Обсуждаются возможные механизмы полученных результатов, связанных с проводимостью межзеренных границ и природой взаимодействия сегнетоэлектрической пленки с подложкой.

Тип объекта: Статья
Подразделения (можно выбрать несколько, удерживая Ctrl): 251 лаб. исследования физических явлений на поверхности и границах раздела твердых тел
URI: http://cplire.ru:8080/id/eprint/4429
Только для зарегистрированных пользователей
Изменить объект Изменить объект