Ионопучковая диагностика планарных структур нанофотоники и наноэлектроники

Афанасьев М.С., Егоров В.К., Егоров Е.В. Ионопучковая диагностика планарных структур нанофотоники и наноэлектроники. In: Международной научно-технической конференции INTERMATIC – 2015, 1 – 5 декабря 2015 г., г. Москва, Россия , МИРЭА , С. 31-39.

[img]
Предварительный просмотр
Текст
Афанасьев-Ионнопучковая диагностика.pdf

Загрузить (918kB) | Предварительный просмотр
Тип объекта: Доклад на конференции или семинаре (Доклад)
Подразделения (можно выбрать несколько, удерживая Ctrl): 251 лаб. исследования физических явлений на поверхности и границах раздела твердых тел
URI: http://cplire.ru:8080/id/eprint/4071
Только для зарегистрированных пользователей
Изменить объект Изменить объект