Наноаналитические возможности ионопучкового анализа материалов

Егоров В.К., Егоров Е.В., Афанасьев М.С. Наноаналитические возможности ионопучкового анализа материалов. In: 5 Международная научно-техническая конференция «Технологии микро- и наноэлектроники в микро- и наносистемной технике», 13-15 апреля 2016 г., г. Москва, Россия , С. 99-101.

Полный текст не доступен из этого репозитория.
Тип объекта: Доклад на конференции или семинаре (Доклад)
Подразделения (можно выбрать несколько, удерживая Ctrl): 251 лаб. исследования физических явлений на поверхности и границах раздела твердых тел
URI: http://cplire.ru:8080/id/eprint/4064
Только для зарегистрированных пользователей
Изменить объект Изменить объект