Осаждение в СВЧ-плазме микро- и нанокристаллических алмазных покрытий на резцах из твердого сплава

Ашкинази Е.Е., Цыганков П.А., Седов В. С., Виноградов Д.В., Козлова М.В., Попович А.Ф., Дравин В.А., Ральченко В.Г. Осаждение в СВЧ-плазме микро- и нанокристаллических алмазных покрытий на резцах из твердого сплава. Взаимодействие излучений с твердым телом: матер. 12-й Междунар. конф., Минск, Беларусь, 19-22 сент. 2017 г. / редкол.: В.В. Углов (отв. ред.) [и др.].- Минск: Изд. центр БГУ , 2017 . С. 425-427.

[img]
Предварительный просмотр
Текст
АшкиназиЦыганковСедовВиноградовКозловаПоповичДравинРальченко2017ВИТТс425-427.pdf

Загрузить (1MB) | Предварительный просмотр

Аннотация

Осаждением в сверхвысокочастотной плазме из смесей метан-водород и метан-водород-азот получены одно- и многослойные микро- и нанокристаллические алмазные покрытия (АП) на резцах из твердого сплава ВК6. Для улучшения адгезии и блокирования диффузии кобальта из подложки при осаждении применялись многослойные и градиентные буферные слои из вольфрама и тяжелых металлов, осажденные в СВЧ плазме слои карбида кремния, а также имплантация ионов титана. По результатам испытаний механических и теплофизических свойств АП на ВК6 определены оптимальные технологические режимы модификации свойств подложки и осаждения АП.

Тип объекта: Статья
Подразделения (можно выбрать несколько, удерживая Ctrl): 218 лаб. химических методов технологии и анализа
URI: http://cplire.ru:8080/id/eprint/3879
Только для зарегистрированных пользователей
Изменить объект Изменить объект