Specific Features of the Formation of Oblique Texture in Aluminum Nitride Films

Luzanov V.A. Specific Features of the Formation of Oblique Texture in Aluminum Nitride Films. Journal of Communications Technology and Electronics , 2017 , 62 (10). С. 1182-1183. ISSN 1064-2269

Полный текст не доступен из этого репозитория.

Аннотация

Aluminum nitride films with oblique orientation of the texture axis are produced. Modifications of crystal structure depending on the deposition rate are studied. Two effects of the film growth related to the relation of the deposition rate and surface mobility of substance are analyzed.

Тип объекта:	Статья
Авторы на русском. ОБЯЗАТЕЛЬНО ДЛЯ АНГЛОЯЗЫЧНЫХ ПУБЛИКАЦИЙ!:	В.А.Лузанов
Подразделения (можно выбрать несколько, удерживая Ctrl):	216 лаб. технологических процессов твердотельной электроники
URI:	http://cplire.ru:8080/id/eprint/3799

Только для зарегистрированных пользователей

Изменить объект