Ковалев В.И., Ковалев В.В. Разработка и создание широкодиапазоных сканирующих и многоканальных светодиодных спектральных эллипсометров и поляриметров. In: Научно-практическая конференция ФАНО: "Научное приборостроение - современное состояние и перспективы развития"., 15-16 ноября 2016 г., Россия, Москва , ФГУП ЭЗАН , С. 54-56.
Полный текст не доступен из этого репозитория.Аннотация
Представлены инновационные разработки в области спектральной эллипсометрии, основанные на предложенном в ФИРЭ АН методе эллипсометрии с переключением ортогональных состояний поляризации и новых поляризационных элементах (переключатели поляризации и ахроматические компенсаторы).
| Тип объекта: | Доклад на конференции или семинаре (Доклад) |
|---|---|
| Авторы на русском. ОБЯЗАТЕЛЬНО ДЛЯ АНГЛОЯЗЫЧНЫХ ПУБЛИКАЦИЙ!: | Ковалёв В.И., Ковалев В.В. |
| Подразделения (можно выбрать несколько, удерживая Ctrl): | 197 лаб. функциональной электроники |
| URI: | http://cplire.ru:8080/id/eprint/3318 |
 |
Изменить объект |
