Ковалев В.И., Али М., Ковалев С.В., Ковалев В.В. ВОЗМОЖНОСТИ АХРОМАТИЗАЦИИ СООСНЫХ НЕСИММЕТРИЧНЫХ ФАЗОСДВИГАЮЩИХ УСТРОЙСТВ С ЧЕТНЫМ ЧИСЛОМ ОТРАЖЕНИЙ. ОПТИКА И СПЕКТРОСКОПИЯ , 2014 , 117 (1). С. 122-125.
Полный текст не доступен из этого репозитория.Аннотация
Рассмотрены два типа соосных фазосдвигающих устройств, предназначенных для использования в спектральной эллипсометрии, в которых улучшение ахроматичности достигается с помощью пары параллельных Al-зеркал, расположенных под малым углом В2 к падающему на них пучку излучения. В фазовом устройстве на основе ромба Френеля из плавленого кварца высокая степень ахроматичности (А = 440° ± 0.4° в диапазоне длин волн 250—1000 нм) достигается использованием двух Al-зер-кал с собственным окислом толщиной около 5 нм и В2 = 18°. Возможность улучшения ахроматичности четырехзеркальных фазосдвигающих устройств обеспечивается использованием двух зеркал с тонким диэлектрическим покрытием (Al2O3, MgF2) толщиной 20—80 нм, у которых фазовый сдвиг А близок к 180° при малых В2 и имеются участки спектра А(^) с уменьшением величины А с ростом длины волны излучения.
Тип объекта: | Статья |
---|---|
Авторы на русском. ОБЯЗАТЕЛЬНО ДЛЯ АНГЛОЯЗЫЧНЫХ ПУБЛИКАЦИЙ!: | Ковалев В.И., Али М., Ковалев С.В., Ковалев В.В. |
Подразделения (можно выбрать несколько, удерживая Ctrl): | 197 лаб. функциональной электроники |
URI: | http://cplire.ru:8080/id/eprint/3139 |
Изменить объект |