Алгоритмы решения обратной задачи спектроэллипсометрии

Крапивин В.Ф., Потапов И.И., Солдатов В.Ю. Алгоритмы решения обратной задачи спектроэллипсометрии. Проблемы окружающей среды и природных ресурсов , 2015 (4). С. 46-55. ISSN 0235-5019

Полный текст не доступен из этого репозитория. (Заказать копию)
Официальный URL: http://elibrary.ru/title_about.asp?id=9737

Аннотация

Рассмотрена задача идентификации жидких растворов на основе данных измерений оптических характеристик с помощью многоканального спектроэллипсометра. Предложены и проанализированы четыре алгоритма решения этой задачи. Приведены сравнительные эмпирические оценки точности этих алгоритмов и указана зависимость показателя уровня достоверности идентификации от концентрации раствора. На примерах диагности водных систем на территории Южного Вьетнама показана эффективность предложенных алгоритмов. Работа поддержана Российским фондом фундаментальных исследований (грант № 13-01-00023-а). Ключевые слова: спектроэллипсометр, спектральные образ, кластерный анализ, идентификация, жидкий раствор, алгоритм

Тип объекта: Статья
Подразделения (можно выбрать несколько, удерживая Ctrl): 209 лаб. вычислительная
URI: http://cplire.ru:8080/id/eprint/307
Только для зарегистрированных пользователей
Изменить объект Изменить объект