Светодиодный многоканальный спектральный эллипсометр с бинарной модуляцией состояния поляризации

Ковалев В.И., Руковишников А.И., Ковалев С.В., Ковалев В.В. Светодиодный многоканальный спектральный эллипсометр с бинарной модуляцией состояния поляризации. Приборы и техника эксперимента , 2014 (5). С. 1-5. ISSN 0032-8162

Полный текст не доступен из этого репозитория.

Аннотация

Использование набора из 8 светодиодов в многоканальном спектральном эллипсометре с бинарной модуляцией состояния поляризации позволило создать простой эллипсометр с полностью перекрывающимся диапазоном длин волн 350–810 нм и высокими техническими характеристиками. Воспроизводимость и стабильность измерений эллипсометрических параметров Ψ и Δ – 0.01° и 0.03° соответственно. Минимальное время измерения Ψ и Δ в диапазоне длин волн 435–690 нм – 0.5 с, в полном диапазоне длин волн 350–810 нм – 5 с.

Тип объекта:	Статья
Авторы на русском. ОБЯЗАТЕЛЬНО ДЛЯ АНГЛОЯЗЫЧНЫХ ПУБЛИКАЦИЙ!:	В.И. Ковалев, А.И. Руковишников, С.В. Ковалев, В.В. Ковалев
Подразделения (можно выбрать несколько, удерживая Ctrl):	197 лаб. функциональной электроники
URI:	http://cplire.ru:8080/id/eprint/2483

Только для зарегистрированных пользователей

Изменить объект