Дмитриев С.Г. Квазистационарные электронные и ионные процессы в плёнках диэлектриков. Диагностика плёнок. Радиотехника и электроника , 2013 , 58 (9). С. 983-986.
|
Текст
РЭ 2013 58(9) 983.pdf Загрузить (213kB) | Предварительный просмотр |
Аннотация
Обсужден принцип частичного квазиравновесия при исследовании структур с полупроводниками и диэлектриками в своем составе, в частности, при диагностике пленок диэлектриков в труктурах металл–диэлектрик–полупроводник (МДП). Отмечена возможность одновременного измерения усредненных конвективных токов в диэлектрике и токов через границу раздела полупроводник–ди� электрик в МДП�структурах. Проанализированы методы определения концентрации подвижных ионов в пленке диэлектрика.
| Тип объекта: | Статья |
|---|---|
| Подразделения (можно выбрать несколько, удерживая Ctrl): | 224 лаб. проблем СВЧ кинетики горячих электронов в полупроводниковых приборах |
| URI: | http://cplire.ru:8080/id/eprint/244 |
 |
Изменить объект |
