Афонина В. С., Иржак А. В., Коледов В. В., Шавров В. Г., Дикан В. А. ОСОБЕННОСТИ ФОРМИРОВАНИЯ АМОРФНОЙ ФАЗЫ НА ПОВЕРХНОСТИ ФУНКЦИОНАЛЬНОГО СПЛАВА Ti2NiCu ПРИ СЕЛЕКТИВНОМ ТРАВЛЕНИИ ИОНАМИ ГАЛЛИЯ. ЖУРНАЛ РАДИОЭЛЕКТРОНИКИ, N12, 2015 , 2015 (12). С. 1-10. ISSN 1684-1719
|
Текст
2015_ЖУРНАЛ РАДИОЭЛЕКТРОНИКИ, N12, 2015.pdf Загрузить (409kB) | Предварительный просмотр |
Аннотация
Экспериментально изучен процесс формирования аморфной фазы на поверхности быстрозакленного функционального сплава Ti2NiCu с ЭПФ при обработке в установке селективного ионного травления (ФИП). Исследовано воздействие фокусированного пучка ионов галлия на поверхность сплава в различных режимах и геометрии. При помощи метода просвечивающей электронной микроскопии (ПЭМ) показано, что ионный пучок формирует на поверхности кристаллического сплава аморфный слой с четкой границей. Отмечается, что аморфный слой может как оказывать негативное воздействие на качество субмикронных образцов сплава Ti2NiCu, которые находят применение в качестве активного материала в микросистемной технике, так и расширить функциональные возможности наноструктур на его основе.
| Тип объекта: | Статья |
|---|---|
| Авторы на русском. ОБЯЗАТЕЛЬНО ДЛЯ АНГЛОЯЗЫЧНЫХ ПУБЛИКАЦИЙ!: | В. С. Афонина, А. В. Иржак, В. В. Коледов, В. Г. Шавров, В. А. Дикан Д. А. Подгорный |
| Подразделения (можно выбрать несколько, удерживая Ctrl): | 192 лаб. магнитных явлений в микроэлектронике |
| URI: | http://cplire.ru:8080/id/eprint/2095 |
 |
Изменить объект |
