Ильин А.С., Кон И.А., Коваленко А.Г. Применение плазмостойкого негативного электронного резиста из полиэфирсульфона при изготовлении чувствительных к примесям сверхпроводниковых структур. Журнал радиоэлектроники , 2014 .
Полный текст не доступен из этого репозитория.| Тип объекта: | Статья |
|---|---|
| Подразделения (можно выбрать несколько, удерживая Ctrl): | 235 темгр. сверхпроводниковых субмиллиметровых микроболометров на разогреве электронов |
| URI: | http://cplire.ru:8080/id/eprint/2075 |
 |
Изменить объект |
