Исследование режимов магнетронного напыления тонких пленок титана для криогенных детекторов

Ляхов ИГОРЬ ГЕННАДИЕВИЧ, Кузьмин АРТЕМ АЛЕКСАНДРОВИЧ, Ильин АЛЕКСЕЙ СЕРГЕЕВИЧ, Ермакова МАРИНА АЛЕКСАНДРОВНА, Булах КОНСТАНТИН ВИКТОРОВИЧ Исследование режимов магнетронного напыления тонких пленок титана для криогенных детекторов. ТРУДЫ , 2013 , 5 (1-17). С. 60-67.

Полный текст не доступен из этого репозитория.

Тип объекта:	Статья
Подразделения (можно выбрать несколько, удерживая Ctrl):	235 темгр. сверхпроводниковых субмиллиметровых микроболометров на разогреве электронов
URI:	http://cplire.ru:8080/id/eprint/2064

Только для зарегистрированных пользователей

Изменить объект