Лузанов В.А., Веденеев А.С., Рыльков В.В., Темирязева М.П., Козлов А.М., Духновский М.П., Бугаев А.С. Получение тонких пленок тантала с использованием метода магнетронного распыления. Радиотехника и электроника , 2015 , 60 (12). С. 1251-1253. ISSN 0033-8494
Полный текст не доступен из этого репозитория.
Официальный URL: http://doi.org/10.7868/S0033849415110133
| Тип объекта: | Статья |
|---|---|
| Подразделения (можно выбрать несколько, удерживая Ctrl): | 196 лаб. спин-волновых процессов в миллиметровом и субмиллиметровом диапазонах длин волн 216 лаб. технологических процессов твердотельной электроники 285 лаб. волновой электроники |
| URI: | http://cplire.ru:8080/id/eprint/1718 |
 |
Изменить объект |
