Синтез углеродных пленок в плазмохимическом реакторе на базе пучково-плазменного разряда

Шустин Е.Г., Исаев Н.В., Клыков И.Л., Песков В.В., Поляков В.И., А.И. Руковишников А.И., Темирязева М.П. Синтез углеродных пленок в плазмохимическом реакторе на базе пучково-плазменного разряда. ЖТФ , 2013 , 83 (2). С. 97-102.

Полный текст не доступен из этого репозитория.
Официальный URL: http://www.journals.ioffe.ru/articles/10826
Тип объекта: Статья
Подразделения (можно выбрать несколько, удерживая Ctrl): 168 лаб. разработки технологии СВЧ приборов
196 лаб. спин-волновых процессов в миллиметровом и субмиллиметровом диапазонах длин волн
197 лаб. функциональной электроники
URI: http://cplire.ru:8080/id/eprint/1677
Только для зарегистрированных пользователей
Изменить объект Изменить объект