Физические основы плазменных технологий обработки материалов наноэлектроники.

Шустин Е. Г. Физические основы плазменных технологий обработки материалов наноэлектроники. Сборник статей «Избранные лекции по физике плазмы и ее взаимодействию с поверхностью» , 2015 .

Полный текст не доступен из этого репозитория.

Тип объекта:	Статья
Подразделения (можно выбрать несколько, удерживая Ctrl):	168 лаб. разработки технологии СВЧ приборов
URI:	http://cplire.ru:8080/id/eprint/1330

Только для зарегистрированных пользователей

Изменить объект