Эффекты зарядки при воздействии плазмы на структуры «микропроводник на изоляторе» в плазмохимических технологиях

Тараканов В.П., Шустин Е.Г. Эффекты зарядки при воздействии плазмы на структуры «микропроводник на изоляторе» в плазмохимических технологиях. In: XL Международная Звенигородская конференция по физике плазмы и УТС, 9-13 февраля 2015, Звенигород, Московская обл. , М.: ЗАО НТЦ "ПЛАЗМАИОФАН" , р. 325.

Полный текст не доступен из этого репозитория.

Тип объекта:	Доклад на конференции или семинаре (Доклад)
Подразделения (можно выбрать несколько, удерживая Ctrl):	168 лаб. разработки технологии СВЧ приборов
URI:	http://cplire.ru:8080/id/eprint/1318

Только для зарегистрированных пользователей

Изменить объект