Ковалев В.И., Мкртчян Ф.А., Ковалев С.В., Ковалев В.В. Фазосдвигающие устройства с четным числом отражений для широкополосных спектральных эллипсометров и поляриметров. In: Материалы Международного симпозиума «Инженерная экология – 2013» (совместно со школой - семинаром молодых ученых), 3-5 декабря 2013 г., Москва , РНТОРЭС им. А.С. Попова , С. 63-68.
Полный текст не доступен из этого репозитория.Аннотация
Рассмотрены два типа соосных фазосдвигающих устройств, предназначенных для использования в спектральной эллипсометрии, в которых улучшение ахроматичности достигается с помощью пары параллельных Al зеркал, расположенных под малым углом θ2 к падающему на них пучку излучения. В фазовом устройстве на основе ромба Френеля из плавленого кварца высокая степень ахроматичности (Δ=440°±0.4° в диапазоне длин волн 250-1000 нм) достигается использованием двух Al зеркал с собственным окислом толщиной около 5 нм и θ2=18°. Возможность улучшения ахроматичности четырехзеркальных фазосдвигающих устройств обеспечивается использованием двух зеркал с тонким диэлектрическим покрытием (Al2O3 , MgF2 ) толщиной 20-80 нм, у которых фазовый сдвиг Δ близок к 180° при малых θ2 и имеются участки спектра Δ(λ) с уменьшением величины Δ с ростом длины волны излучения.
| Тип объекта: | Доклад на конференции или семинаре (Доклад) |
|---|---|
| Подразделения (можно выбрать несколько, удерживая Ctrl): | 197 лаб. функциональной электроники 209 лаб. вычислительная |
| URI: | http://cplire.ru:8080/id/eprint/1135 |
 |
Изменить объект |
