Способ получения атомно-тонких монокристаллических пленок

Песков В.В., Клыков И.Л, Латышев Ю.И, Шустин Е.Г Способ получения атомно-тонких монокристаллических пленок. In: Патент РФ №2 511 073, 10.04.2014 Бюл. № 10

Полный текст не доступен из этого репозитория.

Тип объекта:	Доклад на конференции или семинаре (Другой)
Подразделения (можно выбрать несколько, удерживая Ctrl):	168 лаб. разработки технологии СВЧ приборов
URI:	http://cplire.ru:8080/id/eprint/1133

Только для зарегистрированных пользователей

Изменить объект