Вдовин В.А., Пятайкин И.И. Новый метод измерения СВЧ коэффициентов отражения, прохождения и поглощения ультратонких металлических пленок. Журнал радиоэлектроники , 2025 (11). С. 1-19. ISSN 1684-1719
|
Текст
text JRE 2025.pdf - Опубликованная версия Загрузить (593kB) | Предварительный просмотр |
Аннотация
Предложен новый метод измерения микроволновых коэффициентов ультратонких пленок металлов, основанный на использовании пластин слюды микронной толщины в качестве подложек. При измерении указанных коэффициентов данным методом подложка с напыленной на нее пленкой прикрепляется к фланцу волновода таким образом, чтобы металлическая пленка полностью перекрывала просвет волновода. Проведено сравнение результатов измерений, получаемых с использованием данного подхода с результатами, получаемыми с помощью методики, в которой стеклянная подложка с металлической пленкой закрепляется внутри волновода с помощью упругих крупиц радиопрозрачного полиэтилена. Установлено, что результаты измерений по новой технологии гораздо лучше согласуются с предсказаниями существующей теории, чем результаты измерений с использованием стеклянных подложек. Сделан вывод, что обнаруженные ранее аномалии хода СВЧ коэффициентов металлических пленок в области их толщин, больших 10-25 нм, связаны с неплотным прилеганием стеклянной подложки с пленкой к стенкам волновода. Ключевые слова: ультратонкие медные пленки, СВЧ коэффициенты отражения и прохождения, СВЧ коэффициент поглощения, согласование импедансов, классический размерный эффект.
| Тип объекта: | Статья |
|---|---|
| Дополнительная информация: | Abstract. A new method for measuring microwave reflection, transmission and absorption coefficients of ultrathin metal films is proposed, based on the use of micron-thick mica plates as substrates. When measuring the specified coefficients using this method, the substrate with the film deposited on it is attached to the flange of the waveguide in such a way that the metal film completely covers the aperture of the waveguide. A comparison was made between the measurement results obtained using this approach and the results obtained using a technique in which a glass substrate with a metal film is fixed inside the waveguide using elastic grains of radio-transparent polyethylene. It was found that the results of measurements using the new technique are in much better agreement with the predictions of the existing theory than the results of measurements using glass substrates. It was concluded that the previously found anomalies in the behavior of the microwave reflection and transmission coefficients of metal films in the region of their thicknesses greater than 10 – 25 nm are associated with a loose fit of the glass substrate with the film to the walls of the waveguide. |
| Подразделения (можно выбрать несколько, удерживая Ctrl): | 201 лаб. математических методов радиофизики |
| URI: | http://cplire.ru:8080/id/eprint/10592 |
 |
Изменить объект |
