Kaziev A.V., Kolodko D.V., Tumarkin A.V., Lisenkov Vladislav Yu. SIMULATION OF TARGET SURFACE CHEMICAL STATE IN A HOT-TARGET HIPIMS PROCESS. ChemChemTech , 2023 , 66 (12). С. 76-81. ISSN 05792991
Полный текст не доступен из этого репозитория.
Официальный URL: https://doi.org/10.6060/ivkkt.20236612.6879
| Тип объекта: | Статья |
|---|---|
| Авторы на русском. ОБЯЗАТЕЛЬНО ДЛЯ АНГЛОЯЗЫЧНЫХ ПУБЛИКАЦИЙ!: | Казиев, Колодко, Тумаркин, Лисенков Владислав Ю. |
| Подразделения (можно выбрать несколько, удерживая Ctrl): | 216 лаб. технологических процессов твердотельной электроники |
| URI: | http://cplire.ru:8080/id/eprint/10163 |
 |
Изменить объект |
