Kharkov Maksim M., Lomonosov G.S., Kolodko D.V., Kukushkina M.S., Kaziev A.V., Tumarkin A.V., Ogorodnikova O.V. MAGNETRON SPUTTER DEPOSITION OF TUNGSTEN COATINGS IN DEUTERIUM-HELIUM MIXTURES. High Temperature Material Processes An International Quarterly of High-Technology Plasma Processes , 2023 , 27 (4). С. 25-32. ISSN 1093-3611
Полный текст не доступен из этого репозитория.
Официальный URL: https://doi.org/10.1615/HighTempMatProc.v27.i4.30
| Тип объекта: | Статья |
|---|---|
| Авторы на русском. ОБЯЗАТЕЛЬНО ДЛЯ АНГЛОЯЗЫЧНЫХ ПУБЛИКАЦИЙ!: | Харков, Ломоносов, Колодко, Кукушкина, Казиев, Тумаркин, Огородникова |
| Подразделения (можно выбрать несколько, удерживая Ctrl): | 216 лаб. технологических процессов твердотельной электроники |
| URI: | http://cplire.ru:8080/id/eprint/10162 |
 |
Изменить объект |
