Mamedov N. V., Prokhorovich D. E., Kanshin I. A., Solodovnikov A. A., Kolodko D. V., Sorokin I. A. Comparison of the ion beam profile measuring methods. In: 17th International Conference on Ion Sources , 080006.
Полный текст не доступен из этого репозитория.
Официальный URL: https://doi.org/10.1063/1.5053361
| Тип объекта: | Доклад на конференции или семинаре (Статья) |
|---|---|
| Авторы на русском. ОБЯЗАТЕЛЬНО ДЛЯ АНГЛОЯЗЫЧНЫХ ПУБЛИКАЦИЙ!: | Мамедов, Прохорович, Каньшин, Солодовников, Колодко, Сорокин |
| Подразделения (можно выбрать несколько, удерживая Ctrl): | 216 лаб. технологических процессов твердотельной электроники |
| URI: | http://cplire.ru:8080/id/eprint/10155 |
 |
Изменить объект |
